現(xiàn)如今,MEMS一詞越來(lái)越多的出現(xiàn)在日常生活中,MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的英文縮寫,翻譯過(guò)來(lái)叫做微機(jī)電系統(tǒng),也叫做微系統(tǒng)、微機(jī)械等。
MEMS家族中除了慣性產(chǎn)品還有很多其他領(lǐng)域的產(chǎn)品,常見(jiàn)的MEMS產(chǎn)品包括MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器等以及它們的集成產(chǎn)品。所以說(shuō)MEMS是一種技術(shù)的統(tǒng)稱,這種技術(shù)可以在很多領(lǐng)域得到應(yīng)用。如果你認(rèn)為MEMS只是指的MEMS慣性產(chǎn)品,那就太局限了。
做為一種革命性的新技術(shù),MEMS具有很多傳統(tǒng)技術(shù)所不具備的優(yōu)點(diǎn):MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短。常見(jiàn)的MEMS產(chǎn)品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm,甚至更小。你可以想象一下,也就是一個(gè)米粒的尺寸,與最小也要5cm直徑的光纖陀螺相比,體積縮小了差不多10倍有余。
批量生產(chǎn):用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個(gè)微型機(jī)電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。還拿MEMS陀螺儀舉例,手機(jī)上所用的MEMS陀螺儀成本大約幾十元人民幣,這個(gè)成本在MEMS技術(shù)出現(xiàn)之前幾乎是難以想象的。
集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體,或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列,甚至把多種功能的器件集成在一起,形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。
MEMS技術(shù)的應(yīng)用方向也很廣,醫(yī)療與生物領(lǐng)域的基因分析和遺傳診斷、汽車工業(yè)的微加速度計(jì)、彩色電視機(jī)的光處理器件 DLP 等都是基于MEMS技術(shù)。
然而我們導(dǎo)航圈最熟悉的MEMS產(chǎn)品還是MEMS慣性產(chǎn)品。MEMS慣性產(chǎn)品包含MEMS慣性器件和MEMS慣性系統(tǒng).MEMS慣性器件指的是MEMS加速度計(jì)、MEMS陀螺儀和由其構(gòu)成的MEMS級(jí)別IMU。MEMS慣性系統(tǒng)則包含MEMS級(jí)別航姿參考系統(tǒng)、MEMS級(jí)別組合導(dǎo)航系統(tǒng)等。下面小編為大家介紹幾款性價(jià)比很高的MEMS產(chǎn)品。
AHRS
該產(chǎn)品精度更高,陀螺儀精度可達(dá)4deg/h,角度精度可達(dá)0.1度。而且有高精度Heave功能,可以測(cè)量船體的升沉幅度。被廣泛用于船體姿態(tài)控制、海上平臺(tái)線性補(bǔ)償以及中型機(jī)械設(shè)備等。
INS
INS是組合導(dǎo)航系統(tǒng),采用了NovAtel高精度板卡和高精度MEMS器件。姿態(tài)航向精度可達(dá)0.1度。還可以輸出原始數(shù)據(jù),使用后處理軟件進(jìn)行解算,已得到更高精度的位置航向信息。該產(chǎn)品的某些特定型號(hào)還具有RTK功能。INS在背包移動(dòng)測(cè)量、無(wú)人機(jī)航攝、機(jī)器人控制等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
MEMS技術(shù)近年來(lái)發(fā)展的十分迅速,可以預(yù)期未來(lái)若干年內(nèi)還會(huì)有倍數(shù)級(jí)別的精度突破。MEMS產(chǎn)品逐漸會(huì)應(yīng)用于幾乎所有可以想象到的領(lǐng)域,以它的輕小、低沉本等優(yōu)點(diǎn)占據(jù)著市場(chǎng)。所以,當(dāng)你對(duì)MEMS產(chǎn)品有需求卻又拿捏不準(zhǔn)用什么產(chǎn)品的時(shí)候,請(qǐng)聯(lián)系小編我吧,很榮幸為大家效勞。
標(biāo)簽: 慣性姿態(tài)傳感器
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